广发证券数据统计显示，2023年1-11月，统计样本中的晶圆产线合计中标875台设备，以刻蚀/测试机/气液系统设备居多；国产设备整体中标比例约47%，其中，PECVD/外延/氧化/硅片再生设备的国产中标比例较高。广发证券认为，国产半导体设备厂商依托本土晶圆产能的持续扩张，以及公司自身的产品竞争力、广阔的份额增长空间和品类扩张能力，有望加速提升半导体设备的国产替代份额，成长速度和空间均较为显著。
半导体设备ETF（561980）被动跟踪中证半导体产业指数，主要聚焦半导体材料、设备和应用等半导体产业上游产业链。相对而言，上游的半导体设备和材料具有较高的产业壁垒，多个领域落后较大，持续受到高度重视和国家产业政策的重点支持。
